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氮化硅制程技術(shù)概述

發(fā)布時間:2021-12-15 11:04   點擊量:

滲氮,就是將工件放在一定的滲氮劑中加熱和保溫,使?jié)B氮劑中的活性原子氮滲入工件表層,以改變工件表面的化學(xué)成分、組織和性能的熱處理方法。
 
發(fā)展進(jìn)程主要分為以下幾個階段:
 
稀土催滲的快速氣體滲氮
 
在體滲氮過程中加入一種稀土催滲劑,能夠活化工件表面,加快氮原子吸收速度,不但縮短滲氮周期,還能夠在工件表面形成細(xì)小彌散的氮化物,改善滲氮后組織和質(zhì)量。其中,脆性級別、氮化物級別和疏松級別都可控制到1級,并提高表面硬度(比常規(guī)工藝提高30~100HV)。
 
對于一般結(jié)構(gòu)鋼滲層深度要求0.3mm時,采用常規(guī)滲氮工藝保溫時間需要30小時以上,但如果加入稀土催滲劑后,保溫時間僅用14小時,縮短時間53%,節(jié)電40%,省氮氣35%以上,同時少排放廢氣35%,整個滲氮周期縮短32.7%。
 
連續(xù)式氣體軟氮化及發(fā)黑處理
 
傳統(tǒng)的氣體氮化熱處理是在周期式井式爐或者箱式爐中進(jìn)行的。方泰新材的薛教授認(rèn)為:對大型工件,這種設(shè)備及工藝能夠滿足生產(chǎn)需求,但對于中小工件,在這種爐中進(jìn)行氣體氮化就容易出現(xiàn)加熱不均、滲層不均、硬度不均等問題。此外,由于周期式氮化效果不好,每一爐都有誤差,因此,大大增加了操作難度,并且不易保證所有批次工件的質(zhì)量均勻一致。
 
創(chuàng)造性地將中小工件在連續(xù)爐中進(jìn)行氣體氮化,解決了傳統(tǒng)周期式爐中氣體滲氮的諸多缺點,不但大大提高了產(chǎn)品滲氮后的質(zhì)量和熱處理過程的一致性,且由于溫度和時間均可連續(xù)調(diào)整,使操作簡單易行并可成倍提高生產(chǎn)效率。
 
鹽浴氮化及QPQ復(fù)合處理
 
根據(jù)方泰新材料的經(jīng)驗,溫度一般為520~560℃。常用的液體氰化鹽浴通常用中性鹽氯化鈉、氯化鋇、氯化鉀、碳酸鈉等,常用的氰化物鹽有氰化鈉和氰化鉀等,并僅適用于高速鋼工具。另外,還有稱作液體硫氮共滲的鹽浴氮化,配方為氯化鋇30%、氯化鈉20%、氯化鈣50%,另加5%~10%(中性鹽總重量),成粉末狀的硫化亞鐵,其鹽浴含硫量不低于0.2%,再通入一定量的氨氣(NH3),促使鹽浴翻動。工藝參數(shù)是:溫度540℃~560℃,時間90~120分鐘。
 
1.鹽浴氮碳共滲方法
 
國外提出了鹽浴氮碳共滲的方法,包括軟氮化、Tenifer法;Tufftriding、新Tenifer法、Melonizing、Sulfinuz法、Sur-Sulf法等。國外的鹽浴碳氮共滲在含氰化物和氰酸鹽的熔鹽中進(jìn)行,熔鹽中氰酸鹽的熱分解以及其他化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生有擴(kuò)散能力的氮,置于熔鹽中的鐵質(zhì)工件表面和在氣體滲氮時一樣,起催化劑的作用。
 
2.QPQ鹽浴復(fù)合處理技術(shù)
 
中國的QPQ鹽浴復(fù)合處理技術(shù),是“九五”期間國家級重點推廣項目。QPQ一詞來源于英文Quench-Polish-Quench一詞的字頭縮寫,原意為淬火(快冷)—拋光—淬火(快冷),后有些專家學(xué)者把不加拋光工序的鹽浴復(fù)合處理和增加了拋光工序的QPQ技術(shù)結(jié)合起來,統(tǒng)稱為QPQ鹽浴復(fù)合處理技術(shù)。QPQ鹽浴復(fù)合處理技術(shù)有以下特點:
 
(1)良好的耐磨性、耐疲勞性能。大量生產(chǎn)應(yīng)用及試驗證明,該技術(shù)可以提高工模具壽命2倍以上。嚴(yán)格的滾動和滑動磨損試驗說明,45鋼、40Cr鋼經(jīng)QPQ鹽浴復(fù)合處理后,其耐磨性比高頻淬火高15倍以上,比20鋼滲碳淬火高10倍以上,比鍍硬鉻和離子滲氮高2倍以上。調(diào)質(zhì)的45鋼經(jīng)QPQ鹽浴復(fù)合處理以后疲勞強(qiáng)度提高40%。
 
(2)極好的抗蝕性。45鋼經(jīng)QPQ鹽浴復(fù)合處理以后,在大氣和鹽霧試驗中的抗蝕性比發(fā)黑高70倍以上,比鍍硬鉻高16倍以上,甚至比1Cr18Ni9Ti奧氏體不銹鋼還高幾倍。
 
(3)極小的變形。QPQ鹽浴復(fù)合處理以后工件的尺寸和形狀幾乎無變化。在最佳工藝狀態(tài)下,工件尺寸的脹縮量僅僅為0.005mm。工件形狀的變化也極小,如可以成功地使(508mm×457mm×1.5mm)2Cr13不銹鋼薄板處理后平面度保證在0.5mm以下。因此,該技術(shù)可以用來解決常規(guī)熱處理方法無法解決的硬化變形難題。
 
(4)大幅度節(jié)能。與常規(guī)熱處理技術(shù)相比,該技術(shù)處理溫度低、保溫時間短,可以大幅度節(jié)能。與滲碳淬火相比,可以節(jié)能50%以上。
 
(5)無公害。該技術(shù)在大量生產(chǎn)條件下,經(jīng)各地環(huán)保部門在生產(chǎn)現(xiàn)場實地檢測,各項環(huán)保指標(biāo)均低于國家環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)允許值。迪高沙公司曾因這項技術(shù)獲德國環(huán)保獎。
 
QPQ鹽浴復(fù)合處理技術(shù)的“復(fù)合”一詞說明它不是一種單一的技術(shù)。“復(fù)合”的概念首先體現(xiàn)在它是滲氮(氮碳共滲)和氧化工序的復(fù)合;在性能上,它是高耐磨性與高抗蝕性的復(fù)合;在工藝上,它是熱處理技術(shù)與防腐技術(shù)的復(fù)合。
 
早在20世紀(jì)70年代,為了改變氣體滲氮時間長、硬度不均等缺點,廣大的工程技術(shù)人員和車間工人投入了大量的精力和時間,研究了在氮化時加入電解鈦而使?jié)B速加快、滲層加深的工藝,當(dāng)時叫做鍍鈦氮化,并在一些產(chǎn)品上進(jìn)行了試用,還對鈦氮化和普通氣體氮化、鹽浴氮化進(jìn)行了對比試驗。
 
實際生產(chǎn)表明,鈦氮化能大大加快滲速,并使工件的硬度大大提高,從而大大提高了鉆頭、刀具、工具、模具的使用壽命。特別對于高速鋼制造的鉆頭和刀具等,既克服了其他氮化造成刀口脆性而降低使用壽命的缺點,又使壽命大大提高。試驗結(jié)果還指出,對于PVD鍍膜的鉆頭,鈦氮化后也能提高壽命14.5倍。
 
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