陶瓷晶圓卡盤 99.5%純度氧化鋁陶瓷--300mm
在陶瓷內(nèi)部配置金屬電極，通過(guò)進(jìn)行一體化熔結(jié) ，可以制作靜電卡盤（Electrostatic Chucks）和陶瓷加熱器。
運(yùn)用各種材料技術(shù)，形成了可以應(yīng)對(duì)客戶需求的靜電卡盤／陶瓷加熱器系列。在等離子環(huán)境領(lǐng)域、電子線使用領(lǐng)域等，從開(kāi)發(fā)、試做階段，即可提供符合用途要求的產(chǎn)品。
（1）裝有加熱器的靜電卡盤（ESC／加熱器）
【材質(zhì)：AIN（氮化鋁）】
通過(guò)控制AIN的體積電阻率，可以獲得大范圍的溫度域和充分的吸附力。
通過(guò)自由度高的加熱器設(shè)計(jì)可以實(shí)現(xiàn)良好的溫度均勻性。
因使AIN和電極完成一體化熔結(jié)，沒(méi)有出現(xiàn)因電極的劣化造成的歷時(shí)變化。
也可以應(yīng)對(duì)采用接合技術(shù)的陶瓷中空結(jié)構(gòu)和陶瓷軸安裝。

（2）Al2O3（氧化鋁）靜電卡盤（ESC）
?采用層壓技術(shù)實(shí)現(xiàn)極高的面內(nèi)溫度均一性。
?通過(guò)使用高純度的氧化鋁可以降低金屬污染。
?在鹵素氣體等離子體環(huán)境下發(fā)揮出出色的耐久性。

（3）AIN（氮化鋁）陶瓷加熱器
由于使用了高熱傳導(dǎo)性的AIN，實(shí)現(xiàn)了良好的的溫度均勻性（±0.3%）。
擁有IR相機(jī)和TC晶圓等的特性檢查環(huán)境。

陶瓷晶圓卡盤 99.5%純度氧化鋁陶瓷--300mm