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陶瓷靜電卡盤

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氮化鋁陶瓷是在常壓下2450℃的升華得到的一種高溫耐熱材料。熱膨脹系數(shù)(4.0-6.0)X10(-6)/℃。氮化鋁陶瓷熱導(dǎo)率達(dá)260W/(m.k),比氧化鋁高5-8倍,所以耐熱沖擊好,能耐2200℃的極熱。此外,氮化鋁具有不受鋁液和其它熔融金屬及砷化鎵侵蝕的特性,特別是對(duì)熔融鋁液具有極好的耐侵蝕性。
Aluminum nitride ceramic is a high temperature heat-resistant material obtained by sublimation at 2450 ℃ under atmospheric pressure. Coefficient of thermal expansion (4.0-6.0) x10 (- 6) / ℃. The thermal conductivity of aluminum nitride ceramics is 260W / (m.k), which is 5-8 times higher than that of alumina, so it has good heat resistance and impact, and can withstand the extreme heat of 2200 ℃. In addition, aluminum nitride has the characteristics of not being eroded by molten aluminum, other molten metals and gallium arsenide, especially excellent corrosion resistance to molten aluminum.

氮化鋁陶瓷的優(yōu)點(diǎn):
1、無(wú)毒。
2、熱導(dǎo)率高(約320/M.K)接近Beo和sic,是A1203的5倍以上。
3、光傳輸特性好;
4、熱膨脹系數(shù)(4.5x10-6c)與si(3.5-4x10-6c)和(6x10-6c)匹配;
5、 各種電性能(介電常數(shù),介質(zhì)損耗、體電阻率、介電強(qiáng)度)優(yōu)良;
6、機(jī)械性能好,康折強(qiáng)度高于A1203和Beo陶瓷
 

氮化鋁陶瓷的性能指標(biāo)如下:
物理性能(Physical PropertIes) 單位 UNIT 西安中威(ZHWE)氮化鋁陶瓷
碳化硅含量(Composition :SIC) VOL% ≥95
密度20℃(Density 20℃) g/cm3 ≥3.32
氣孔率(Open Porosity) VOL% 0
介電常數(shù) @1MHz 10.6
介電損耗 @1MHz 4.6*10(-6)
抗彎強(qiáng)度20℃(Flexural Strength 20℃) MPa ≥350
抗彎強(qiáng)度1300℃(Flexural Strength 1300℃) MPa  
熱膨脹系數(shù)(Coefficient of thermal ) 10(-6)*k(-1) 4.6
熱導(dǎo)率20℃(Thermal conductivity 20℃) W.m(-1)*k(-1) ≥170

 
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